证券之星消息,根据企查查数据显示德龙激光(688170)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆抽检装置”,专利申请号为CN202320465453.6,授权日为2024年4月16日。
专利摘要:本实用新型涉及一种晶圆抽检装置,包括抽检吸附台、晶圆抽检上部支撑组件、抽检底座组件和抽检相机组件,抽检底座组件可驱动上方的晶圆抽检上部支撑组件沿着X轴方向移动,晶圆抽检上部支撑组件沿着Y轴负方向一侧的抽检底座组件上设置有抽检相机组件,晶圆抽检上部支撑组件上设置有抽检吸附台。本实用新型通过抽检底座组件可驱动上方的晶圆抽检上部支撑组件沿着X轴方向移动的结构,对需要进行人工识别的晶圆或问题晶圆,能够自动伸出或缩回抽检的晶圆平台。
今年以来德龙激光新获得专利授权10个,较去年同期增加了11.11%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了4741.64万元,同比增32.71%。
数据来源:企查查
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