证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“零部件、其表面形成涂层的方法和等离子体反应装置”,专利申请号为CN202010301207.8,授权日为2024年4月12日。
专利摘要:本发明适用于半导体技术领域,公开一种用于等离子体反应装置中的零部件、零部件表面形成耐等离子体涂层的方法和等离子体反应装置。等离子体反应装置包括反应腔,反应腔内为等离子体环境,零部件暴露于等离子体环境中,零部件包括涂覆于零部件本体表面的耐等离子体涂层,耐等离子体涂层包括至少两层膜层,膜层为稀土金属化合物,稀土金属化合物包括稀土金属元素的氧化物、氟化物或氟氧化物中的至少一种,且相邻两膜层具有不同的晶粒生长方向。本发明提供的零部件,通过在零部件的表面涂覆耐等离子体涂层,提高零部件的耐热冲击性能,且耐等离子体涂层能够吸收热应力,阻止微裂纹的扩展,降低了耐等离子体涂层从零部件表面脱落的风险。
今年以来中微公司新获得专利授权54个,较去年同期增加了1.89%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了8.17亿元,同比增34.91%。
数据来源:企查查
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