至纯科技获得发明专利授权：“双层式兆声波清洗系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“双层式兆声波清洗系统”，专利申请号为CN202111658773.5，授权日为2024年4月12日。

专利摘要：本发明涉及一种双层式兆声波清洗系统，包括底座、超声波信号发生装置、浴槽、用以晶圆清洗的清洗槽，超声波信号发生装置安装在底座上，底座为可动底座，底座运动改变超声波信号发生装置相对清洗槽发射声波的方向；浴槽安装在超声波信号发生装置上端，浴槽内盛装有声波传导介质；清洗槽安装在浴槽上方，清洗槽的底部浸入浴槽内的声波传导介质中，清洗槽中盛装有清洗液。本发明通过底座的运动改变超声波信号发生装置的声波方向，改变晶圆片在声波方向的投影面积，进而提升清洗效果和效率，同时，声波方向的改变在清洗槽的底部产生压差，使得聚集在清洗槽底部的气泡消除，减少了超声波的能量损失，提升清洗效果。

今年以来至纯科技新获得专利授权8个，较去年同期减少了50%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了9939.58万元，同比增67.83%。

数据来源：企查查

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