证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“零部件、等离子体反应装置及零部件加工方法”,专利申请号为CN202010361663.1,授权日为2024年4月12日。
专利摘要:本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种零部件、等离子体反应装置及零部件加工方法。其中,等离子体反应装置包括反应腔,反应腔内为等离子体环境,零部件暴露于所述等离子体环境中;零部件包括衬底和涂覆在衬底表面的耐等离子体涂层,衬底表面设置有若干宽度W1≤30nm、深度H1≤100nm的凹槽,相邻凹槽间形成凸起;耐等离子体涂层覆盖于凹槽的侧壁表面、底部表面和凸起的顶部表面。本发明提供的零部件,通过在衬底的表面涂覆耐等离子体涂层对衬底进行耐等离子体保护,且耐等离子体涂层不易出现开裂、裂纹扩展以及剥落的问题。
今年以来中微公司新获得专利授权54个,较去年同期增加了1.89%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了8.17亿元,同比增34.91%。
数据来源:企查查
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