芯源微获得发明专利授权：“涂胶显影设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“涂胶显影设备”，专利申请号为CN202010768884.0，授权日为2024年4月12日。

专利摘要：本发明提供了一种涂胶显影设备，包括载体块；接口块；第一工艺模块包括液体处理模块以及设置于所述液体处理模块相对两侧的第一热处理模块和第二热处理模块；其中，所述第一热处理模块包括两层层叠设置的第一热处理单元，所述液体处理模块包括四层层叠设置的液体处理单元，所述第二热处理模块包括两层层叠设置的第二热处理单元，且每一层所述第一热处理单元和每一层所述第二热处理单元均具有两个相适配的机械手；第二工艺模块与所述第一工艺模块的结构相同，且与所述第一工艺模块对称设置，大幅度减少了单个机械手的搬运行程，增加了相同时间内搬运晶圆的数量，提高了效率。

今年以来芯源微新获得专利授权10个，较去年同期减少了9.09%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了7697.75万元，同比增80.33%。

数据来源：企查查

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