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三德科技获得发明专利授权:“一种坩埚自动清洗方法及装置”

来源:证券之星企业动态 2024-04-13 03:05:52
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证券之星消息,根据企查查数据显示三德科技(300515)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种坩埚自动清洗方法及装置”,专利申请号为CN201710894354.9,授权日为2024年4月12日。

专利摘要:本发明公开了一种坩埚自动清洗方法,包括:S01、自动取样盘传送带上的样盘;S02、将样盘进行翻转以清除残渣;S03、对样盘进行高压气体清洗;S04、清洗完成。本发明还公开了一种坩埚自动清洗装置,包括平移组件、翻转组件、夹紧组件、抽气排尘组件和清洗组件,夹紧组件安装在翻转组件上,翻转组件安装在平移组件上,夹紧组件包括托板、滤灰网和第一驱动件,托板用于在平移组件的平移下将样盘铲起,并与托板配合以夹紧样盘;翻转组件用于对夹紧组件内的样盘进行翻转,抽气排尘组件用于对样盘进行抽气排尘作业;清洗组件用于对抽气排尘作业后的样盘进行高压气体吹扫作业。本发明的清洗方法及装置均具有自动化程度高等优点。

今年以来三德科技新获得专利授权17个,较去年同期增加了13.33%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2257.56万元,同比增23.24%。

数据来源:企查查

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