芯联集成获得实用新型专利授权：“坩埚盖板总成及蒸镀设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“坩埚盖板总成及蒸镀设备”，专利申请号为CN202322439535.6，授权日为2024年4月12日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种坩埚盖板总成及蒸镀设备，坩埚盖板总成包括：坩埚盖板和火山口；所述坩埚盖板上设有第一通孔；所述火山口可拆卸的设置于所述坩埚盖板上，所述火山口包括凸出部和第二通孔，所述第二通孔设置于所述凸出部，所述凸出部的外壁适形贴合于所述第一通孔的内壁，且所述第一通孔和第二通孔正对。如此配置，减少坩埚盖板上的金属附着物，清洁坩埚盖板总成时，火山口作为主要清洁对象，火山口可拆卸清洁，有利于降低清洁难度，有助于降低备件成本，改善坩埚盖板上在清洁过程中形变的现象，且有助于提高清洁效率，提高蒸镀设备的利用率，并且提升蒸镀设备的稳定性。

今年以来芯联集成新获得专利授权19个，与去年同期持平。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了15.29亿元，同比增82.25%。

数据来源：企查查

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