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曼恩斯特获得实用新型专利授权:“一种可调节的阳极装置和磁控溅射设备”

来源:证券之星企业动态 2024-04-12 02:54:08
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证券之星消息,根据企查查数据显示曼恩斯特(301325)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种可调节的阳极装置和磁控溅射设备”,专利申请号为CN202322258024.4,授权日为2024年4月12日。

专利摘要:本实用新型涉及钙钛矿电池应用技术领域,具体涉及一种可调节的阳极装置和磁控溅射设备,可调节的阳极装置应用于磁控溅射设备,磁控溅射设备包括镀膜腔体,镀膜腔体的内侧壁设有用于对基板进行磁控溅射的靶材,阳极装置包括:两组阳极组件,分别位于靶材的两侧并沿水平方向滑动连接在镀膜腔体内,且阳极组件位于靶材和基板之间;驱动组件,设置在镀膜腔体上,且输出端与阳极组件连接,适于驱动阳极组件沿水平方向滑动,解决了现有的辅助阳极装置的调整方式较为繁琐,操作难度较大,调整周期长,影响生产效率的技术问题。

今年以来曼恩斯特新获得专利授权15个,较去年同期减少了28.57%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2777.28万元,同比增54.01%。

数据来源:企查查

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