芯碁微装获得发明专利授权：“直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置及方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置及方法”，专利申请号为CN201910229390.2，授权日为2024年4月9日。

专利摘要：本发明涉及直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置及方法，属于直写光刻曝光技术领域。该调试装置包括支撑底座、精密定位运动平台、调试机构、支撑架和CCD图像采集系统。精密定位运动平台包括Y轴、X轴和Z轴；Z轴的顶部安装有真空吸盘；真空吸盘上方吸附带有Mark点的高精度标定板。调试机构包括安装在支撑底座上可升降的移动滑台、调试连接底板、移动滑轨、与移动滑轨滑动配合的移动滑轨运动座以及固定在移动滑轨运动座上的千分表。本发明先采用CCD图像采集系统对X轴和Y轴的正交性进行测量，再采用调试机构调试X轴和Y轴的正交性。本发明能够提高直写光刻曝光设备精密定位运动平台正交性调试的效率和准确度，降低调试成本。

今年以来芯碁微装新获得专利授权8个，较去年同期减少了11.11%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了3885.2万元，同比减7.98%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成，与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等，如存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。