水晶光电获得发明专利授权：“灰度光刻的光强矫正方法、装置、设备及存储介质”

证券之星消息，根据企查查数据显示水晶光电（002273）新获得一项发明专利授权，专利名为“灰度光刻的光强矫正方法、装置、设备及存储介质”，专利申请号为CN202010992050.8，授权日为2024年4月9日。

专利摘要：本发明提供一种灰度光刻的光强矫正方法、装置、设备及存储介质，属于灰度光刻技术领域。灰度光刻的光强矫正方法，包括：获取刻蚀图像中预设区域内坐标点的坐标值以及对应于各坐标值的实测深度值，其中，刻蚀图像为根据设计图像刻蚀后的实际图像，预设区域与设计图像上预设的采样区域相对应；获取设计图像中采样区域内坐标点的坐标值及对应于各坐标值的设计深度值和灰度值；根据坐标值及其对应的设计深度值、灰度值以及实测深度值分别计算确定各灰度值与矫正光强值之间的映射关系。能够对灰度光刻制程中灰度值与光强间的映射关系进行矫正，从而提高最终得到的刻蚀图像的精度。

今年以来水晶光电新获得专利授权13个，较去年同期减少了18.75%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了4.24亿元，同比增27.12%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成，与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等，如存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。