晶合集成获得发明专利授权：“机台参数的确定方法、控制方法、控制系统及其装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“机台参数的确定方法、控制方法、控制系统及其装置”，专利申请号为CN202311723458.5，授权日为2024年4月9日。

专利摘要：本申请涉及一种机台参数的确定方法、控制方法、控制系统及其装置，通过获取历史数据集，历史数据集包括多个历史机台参数和多个历史晶圆参数，保证了数据获取的普遍性，根据历史数据集确定使晶圆良率恶化的机台参数对应的恶化参数范围，根据恶化参数范围确定晶圆良率恶化的原因，然后根据恶化参数范围设定试验数据集，获取机台按照试验数据集制备晶圆后的晶圆试验良率，并根据晶圆试验良率确定机台的目标参数集，采用目标参数集为机台参数制备晶圆，改善了生产制造时晶圆良率的恶化，提高了晶圆良率。

今年以来晶合集成新获得专利授权87个，较去年同期增加了112.2%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元，同比增27.46%。

数据来源：企查查

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