证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“等离子体处理设备”,专利申请号为CN201910875853.2,授权日为2024年4月5日。
专利摘要:一种等离子体处理设备包括:真空反应腔;位于所述真空反应腔内底部的下电极组件,所述下电极组件包括承载面,所述承载面用于承载待处理基片;位于所述真空反应腔顶部的气体分散板,所述气体分散板的侧壁具有第一卸荷槽;位于所述气体分散板下方的气体喷淋头,所述气体喷淋头朝向承载面。所述等离子体处理设备中气体分散板与气体喷淋头之间的热传导能力较强。
今年以来中微公司新获得专利授权50个,较去年同期减少了5.66%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了8.17亿元,同比增34.91%。
数据来源:企查查
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