证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“零部件及其封孔方法、等离子体处理装置及其工作方法”,专利申请号为CN201910903369.6,授权日为2024年4月5日。
专利摘要:本发明公开了一种零部件及其封孔方法、等离子体处理装置及其工作方法,该封孔方法用于等离子体处理装置零部件的阳极氧化层,所述等离子体处理装置零部件还包括基底,所述阳极氧化层位于基底的表面,在所述阳极氧化层的表面形成热塑性高分子涂层;形成所述热塑性高分子涂层之后,对所述等离子体处理装置零部件进行加热处理,使所述热塑性高分子涂层转化为高弹态,在所述加热处理的过程中,所述阳极氧化层产生裂纹和孔隙,所述高弹态的热塑性高分子涂层流入裂纹和孔隙内。本发明因位于所述裂纹和孔隙内、以及位于所述阳极氧化层表面的热塑性高分子涂层而具有双重防腐蚀的作用,显著提高了等离子体处理装置零部件的抗腐蚀性能。
今年以来中微公司新获得专利授权50个,较去年同期减少了5.66%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了8.17亿元,同比增34.91%。
数据来源:企查查
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