证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“温度控制组件、半导体处理腔室及半导体处理设备”，专利申请号为CN202210548371.8，授权日为2024年4月5日。
专利摘要：本申请涉及半导体设备技术领域，提供了一种温度控制组件、半导体处理腔室及半导体处理设备，其中，半导体处理腔室包括腔体、温度控制组件以及驱动组件。温度控制组件活动设置于腔体中。驱动组件用于驱动温度控制组件接近或远离腔体中的承载件放置区域，并实现承载件放置在温度控制组件上并贴合。本申请能够提高传热效率。
今年以来微导纳米新获得专利授权21个，较去年同期增加了600%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。
数据来源：企查查
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