中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体反应装置、方法及机械臂”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体反应装置、方法及机械臂”，专利申请号为CN202011026327.8，授权日为2024年4月5日。

专利摘要：本发明提供一种等离子体反应装置，包含：传输腔和反应腔；通过第一输气管路输送至所述反应腔的反应气体经耦合到反应腔内的射频能量激发形成等离子体，用来对放置在反应腔内底部基座上的晶圆进行处理；基座下方包括用于抽出反应腔内气体维持反应腔内低压的第一压力调节装置；传输腔内设有第一机械臂，用于通过反应腔侧壁上的开口在反应腔和传输腔之间传输晶圆；所述第一机械臂上设置有检测单元，用于检测传输腔内反应副产物的种类及浓度；控制单元，根据检测单元的检测结果调节传输腔与反应腔的气压差，防止反应副产物进入传输腔。本发明还提供一种防止反应副产物进入传输腔内的方法及一种夹取晶圆的机械臂。

今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了5.66%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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