芯联集成获得实用新型专利授权：“用于晶圆处理设备的吹扫装置及晶圆处理系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“用于晶圆处理设备的吹扫装置及晶圆处理系统”，专利申请号为CN202322426086.1，授权日为2024年4月5日。

专利摘要：本实用新型提供了一种用于晶圆处理设备的吹扫装置及晶圆处理系统，所述晶圆处理设备包括晶圆存储单元和晶圆处理单元，所述晶圆存储单元用于存储晶圆，所述晶圆处理单元用于对所述晶圆进行加工处理；所述吹扫装置包括：气源，所述气源用于提供惰性气体；流量控制阀，所述流量控制阀的进气口与所述气源连通，所述流量控制阀的出气口与所述晶圆存储单元连通；检测单元，所述检测单元用于对所述晶圆加工处理的进度进行检测；控制器，所述控制器与所述检测单元连接，用于根据所述检测单元的检测结果控制所述流量控制阀的开闭。根据本实用新型的用于晶圆处理设备的吹扫装置及晶圆处理系统能够显著降低惰性气体消耗，降低成本。

今年以来芯联集成新获得专利授权16个，较去年同期减少了5.88%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了15.29亿元，同比增82.25%。

数据来源：企查查

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