芯联集成获得实用新型专利授权：“刻蚀设备的恒温系统、刻蚀设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“刻蚀设备的恒温系统、刻蚀设备”，专利申请号为CN202322183364.5，授权日为2024年4月5日。

专利摘要：本实用新型提供一种刻蚀设备的恒温系统、刻蚀设备，刻蚀设备具有刻蚀腔室，刻蚀腔室的顶部设置有盖体，恒温系统包括：第一冷却组件，设置于盖体上，用于对盖体进行降温；第二冷却组件，设置于盖体上，用于对盖体进行降温；第二冷却组件的降温功率可调节；测温组件，设置于盖体上，用于对盖体进行温度检测；控制组件，用于根据测温组件的检测数据确定盖体的实际温度，并在实际温度不低于第一温度时发出第一控制信号，以使第一冷却组件和第二冷却组件根据第一控制信号对盖体进行降温。本申请使得盖体的温度可以控制在第一温度以下，避免盖体的温度过高，从而满足刻蚀工艺的需求。

今年以来芯联集成新获得专利授权16个，较去年同期减少了5.88%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了15.29亿元，同比增82.25%。

数据来源：企查查

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