证券之星消息,根据企查查数据显示芯联集成(688469)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“电极位置校准装置、离子注入设备”,专利申请号为CN202322227110.9,授权日为2024年3月19日。
专利摘要:本实用新型提供一种电极位置校准装置、离子注入设备,电极位置校准装置应用于离子注入设备,离子注入设备具有离子注入腔室,离子注入腔室内设置有电极,电极位置校准装置包括:第一校准件,设置于离子注入腔室的入口部;第一校准件具有向离子注入腔室内部延伸的第一通孔;第二校准件,穿设于第一通孔内;限位件,设置于第二校准件;其中,电极包括第二通孔,第二校准件用于穿过第二通孔,以对电极的位置进行校准;限位件用于限制第二校准件在第一通孔的轴线方向移动。本申请可以在前后方向限定电极的位置,增加了在前后方向对电极的位置校准的功能。
今年以来芯联集成新获得专利授权11个,较去年同期减少了35.29%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了15.29亿元,同比增82.25%。
数据来源:企查查
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