京仪装备获得实用新型专利授权：“一种半导体专用自动切换温控系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示京仪装备（688652）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种半导体专用自动切换温控系统”，专利申请号为CN202322480520.4，授权日为2024年4月2日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体温控设备领域，涉及一种半导体专用自动切换温控系统。半导体专用自动切换温控系统包括工艺机台、温控设备和切换管路装置。工艺机台包括第一工作腔室和第二工作腔室，温控设备包括第一温控装置和第二温控装置。切换管路装置包括第一管路部件、第二管路部件和第三管路部件，第一工作腔室与第一温控装置通断连接，第二工作腔室与第二温控装置通断连接。第三管路部件适于通断第一温控装置和第二工作腔室，以及通断第二温控装置和第一工作腔室。本实用新型提供的半导体专用自动切换温控系统，在第一温控装置和第二温控装置中的其中一个宕机时，能够即时将另一个连通对应的工作腔室，实现持续为工作腔室提供恒温流体。

今年以来京仪装备新获得专利授权12个，较去年同期增加了100%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2738.29万元，同比增63.51%。

数据来源：企查查

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