证券之星消息,根据企查查数据显示卓胜微(300782)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“声表面波谐振器结构以及声表面波滤波器”,专利申请号为CN202320793968.9,授权日为2024年3月29日。
专利摘要:本申请涉及一种声表面波谐振器结构及声表面波滤波器,包括:压电基板;叉指换能器,位于所述压电基板的一侧;温度补偿层,位于所述叉指换能器的远离所述压电基板的一侧;扩散阻挡层,位于所述叉指换能器与所述温度补偿层之间。本申请的声表面波谐振器结构在叉指换能器表面形成扩散阻挡层,扩散阻挡层将叉指换能器完全覆盖,使叉指换能器完全与温度补偿层相隔离。扩散阻挡层防止了叉指换能器采用的材料(例如铜)扩散到温度补偿层中,保证了叉指换能器形貌的完整,改善了器件的空洞,并对器件频率的离散和损耗均有所改善。此外,基于本申请的声表面波谐振器结构制作的滤波器可以提升整片晶圆器件的离散性,改善区域电性能不良的问题,适合大规模生产。
今年以来卓胜微新获得专利授权5个。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.54亿元,同比增50.79%。
数据来源:企查查
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