赛腾股份获得发明专利授权：“用于晶圆检测的承载设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示赛腾股份（603283）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于晶圆检测的承载设备”，专利申请号为CN202410048950.5，授权日为2024年3月29日。

专利摘要：本发明公开了一种用于晶圆检测的承载设备，属于半导体检测领域，其包括：旋转机构，包括旋转主体和转盘；夹持机构，包括设置在转盘上的活动夹持件和固定夹持件，活动夹持件和固定夹持件数量有多个，且沿着转盘的周向等间隔交替布置，每一活动夹持件均与一固定夹持件相对设置，活动夹持件可沿着转盘的径向移动，并配合固定夹持件夹持晶圆的边缘；承托机构，包括承托架和与承托架传动连接的承托驱动件；活动夹持件和固定夹持件用于与晶圆相接触的夹持部分位于转盘外，承托架适于在承托驱动件的驱动下沿着转盘的轴线方向上升，并将晶圆抬离活动夹持件和固定夹持件。本发明采用上述结构，能够确保晶圆外缘的检测效果，且便于晶圆定位。

今年以来赛腾股份新获得专利授权31个，较去年同期增加了93.75%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.48亿元，同比增12.17%。

数据来源：企查查

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