中微公司获得发明专利授权：“耐腐蚀涂层制备方法、半导体零部件和等离子体反应装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“耐腐蚀涂层制备方法、半导体零部件和等离子体反应装置”，专利申请号为CN202011026969.8，授权日为2024年3月29日。

专利摘要：一种耐腐蚀涂层制备方法、半导体零部件和等离子体反应装置，其中方法包括：提供零部件本体，零部件本体至少包括不共面的第一待涂面和第二待涂面；在第一待涂面上形成致密的耐腐蚀涂层，同时在第二待涂面形成疏松的耐腐蚀涂层；对零部件本体进行清洁处理，去除疏松的耐腐蚀涂层，暴露出所述第二待涂面；在第二待涂面上形成致密的耐腐蚀涂层，同时在第一待涂面形成疏松的耐腐蚀涂层；对零部件本体进行清洁处理，去除疏松的耐腐蚀涂层。本发明提供的方法得到的零部件本体表面形成的涂层都具有致密的结构，减少涂层在等离子体轰击下脱落形成颗粒的风险。

今年以来中微公司新获得专利授权35个，较去年同期减少了33.96%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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