中微公司获得实用新型专利授权：“一种静电夹盘及半导体处理设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种静电夹盘及半导体处理设备”，专利申请号为CN202321025911.0，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：本实用新型公开一种静电夹盘及半导体处理设备，其涉及半导体技术领域。静电夹盘，包括：陶瓷层，其具有用于承载基片的上表面和与所述上表面相对的下表面；基座，用于支撑所述陶瓷层；加热组件，其设置在所述陶瓷层和所述基座之间；其特征在于，所述加热组件还包括：第一板、第二板、导热层及设置于所述第一板和第二板之间的加热元件，其中，所述导热层与所述加热元件在横向方向上间隔设置。本实用新型通过在静电夹盘内置的加热元件两侧设置导热层来优化静电夹盘的控温能力，提升基片处理的一致性。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期减少了5.56%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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