中微公司获得实用新型专利授权：“一种气相沉积设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种气相沉积设备”，专利申请号为CN202322140433.4，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：本实用新型公开一种气相沉积设备，包括：反应腔；进气装置，设置于所述反应腔的顶部；基座，设置于所述反应腔的内部底部；托盘，设置于所述基座上，用于承载晶圆；加热器，设置于所述基座内，用于加热所述晶圆；保温装置，套设于所述基座的外侧，固定于所述反应腔的内部底部；所述保温装置包括套接在所述基座外的内保温环和套接在所述内保温环外的外保温环，且所述内保温环和所述外保温环沿着所述基座的中心轴向上延展一定高度。本实用新型中在基座外侧套设保温装置，既可以防止加热器的热量散失，还可以防止反应副产物在基座上沉积，从而提高晶圆的沉积效率和制备良率。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期减少了5.56%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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