中微公司获得实用新型专利授权：“一种托盘结构及其外延生长设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种托盘结构及其外延生长设备”，专利申请号为CN202321326996.6，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：本实用新型公开了一种托盘结构及其外延生长设备，该托盘结构包含：基座，其可设置于一旋转座上，所述基座的上表面包含一限位结构，所述限位结构包围形成一凹陷部；衬底支撑件，至少部分地位于所述凹陷部内，用于承载一衬底，所述衬底支撑件包括一倾斜上表面，所述倾斜上表面包括环绕所述衬底的内圈区域，至少部分所述内圈区域的高度高于所述衬底上表面的高度。其优点是：通过衬底支撑件的倾斜上表面，有效地降低了衬底飞片的风险，增加了衬底在工艺过程中的稳定性。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期减少了5.56%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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