证券之星消息,根据企查查数据显示捷佳伟创(300724)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“HWCVD设备”,专利申请号为CN202321599037.1,授权日为2024年3月26日。
专利摘要:本实用新型公开了一种HWCVD设备,HWCVD设备,包括:腔盖,腔盖的内部形成有均气腔,且腔盖的顶部设有与均气腔连通的进气口,腔盖的底部设有与均气腔连通的多个布气孔;以及热丝模块,热丝模块包括连接单元以及热丝单元,连接单元固定在腔盖的底部、并与热丝单元连接,热丝单元位于腔盖的下方。本实用新型的HWCVD设备中,腔盖可以实现均气和布气的效果,因此,本实用新型的HWCVD设备可以取消在腔体内部设置布气模块,避免了在腔体内部设置布气模块的不便。
今年以来捷佳伟创新获得专利授权14个,较去年同期增加了40%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.16亿元,同比增51.82%。
数据来源:企查查
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