鼎龙股份获得发明专利授权：“一种自修整抛光垫及其制备方法和应用”

证券之星消息，根据企查查数据显示鼎龙股份（300054）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种自修整抛光垫及其制备方法和应用”，专利申请号为CN202211128759.9，授权日为2024年3月22日。

专利摘要：本发明公开一种自修整抛光垫及其制备方法和应用，所述自修整抛光垫包括抛光层，所述抛光层包括不连续相聚合物材料和连续相聚合物材料，所述不连续相聚合物材料均匀分散在所述连续相聚合物材料中，所述连续相聚合物材料包括水溶性聚合物材料和/或水解性聚合物材料；所述连续相聚合物材料的溶解/解离速度为0.5?63um/h。本发明提供的自修整抛光垫具有良好的自修整功能，使用本发明的自修整抛光垫对半导体器件进行抛光，不使用修整盘；在使用10h、20h甚至30h后，仍能保持稳定的研磨去除速率和低的晶圆缺陷。

今年以来鼎龙股份新获得专利授权4个，较去年同期增加了100%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.73亿元，同比增23.7%。

数据来源：企查查

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