欧晶科技获得发明专利授权：“石英坩埚气泡空乏层测厚仪”

证券之星消息，根据企查查数据显示欧晶科技（001269）新获得一项发明专利授权，专利名为“石英坩埚气泡空乏层测厚仪”，专利申请号为CN201910127894.3，授权日为2024年3月19日。

专利摘要：本发明公开了一种石英坩埚气泡空乏层测厚仪，其包括检测底座和电视显微镜；检测底座包括两个竖直设置的支架，在两个支架顶部之间固定设有显微镜固定板，在显微镜固定板上设有电视显微镜，电视显微镜的物镜置于显微镜固定板下方的两个支架之间；在物镜的镜头侧壁上设有与电视显微镜的光轴平行设置的镜头同步杆，在物镜镜片下方的镜头同步杆端头设有与电视显微镜的光轴垂直的基准杆；基准杆的顶端置于电视显微镜的视野内；在基准杆的底面上设有微动开关。优点在于：在不破坏石英坩埚的结构的同时，快速检测测量石英坩埚气泡空乏层厚度；检测成本低，速度快，保证生产效率；可以对每个石英坩埚进行检测，检测结果快速准确。

今年以来欧晶科技新获得专利授权1个，与去年同期持平。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2970.16万元，同比增72.92%。

数据来源：企查查

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