芯联集成获得实用新型专利授权：“电极位置校准装置、离子注入设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“电极位置校准装置、离子注入设备”，专利申请号为CN202322227110.9，授权日为2024年3月19日。

专利摘要：本实用新型提供一种电极位置校准装置、离子注入设备，电极位置校准装置应用于离子注入设备，离子注入设备具有离子注入腔室，离子注入腔室内设置有电极，电极位置校准装置包括：第一校准件，设置于离子注入腔室的入口部；第一校准件具有向离子注入腔室内部延伸的第一通孔；第二校准件，穿设于第一通孔内；限位件，设置于第二校准件；其中，电极包括第二通孔，第二校准件用于穿过第二通孔，以对电极的位置进行校准；限位件用于限制第二校准件在第一通孔的轴线方向移动。本申请可以在前后方向限定电极的位置，增加了在前后方向对电极的位置校准的功能。

今年以来芯联集成新获得专利授权11个，较去年同期减少了15.38%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6.5亿元，同比增70.44%。

数据来源：企查查

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