证券之星消息,根据企查查数据显示芯源微(688037)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“涂胶显影设备”,专利申请号为CN202322342188.5,授权日为2024年3月15日。
专利摘要:本实用新型提供一种涂胶显影设备,包括沿水平方向依次排列的片盒模块、层间工艺模块和第一工艺模块;所述第一工艺模块中各个涂胶工艺层由底向上依次层叠设置;层间工艺模块和第一工艺模块之间设有穿墙式光学检测单元,包括第二穿墙部、光源和摄像机;所述第二穿墙部的第一端固定,所述第二穿墙部的第二端相对于第一端活动,用于传输晶圆;所述光源用于向晶圆表面投射光线,摄像机用于接收经过晶圆表面反射的光线,以实现对晶圆的光学检测。该设备用于提升涂胶显影设备生产效率。
今年以来芯源微新获得专利授权8个,较去年同期增加了14.29%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了7697.75万元,同比增80.33%。
数据来源:企查查
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