中科飞测获得实用新型专利授权：“一种晶圆检测设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中科飞测（688361）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆检测设备”，专利申请号为CN202321519651.2，授权日为2024年3月1日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆检测设备，包括光学系统、系统大板、运动平台和平整度调节机构，其中，运动平台、平整度调节机构、系统大板和光学系统依次层叠设置，平整度调节机构被配置为调节系统大板与运动平台之间的距离和角度。本实用新型的晶圆检测设备在使用时，通过调节平整度调节机构，以调节系统大板与运动平台之间的距离和角度，从而实现光学系统物镜的聚焦的调整，保证光学系统的焦面与运动平台平行或者平行到一定范围。

今年以来中科飞测新获得专利授权23个，较去年同期减少了11.54%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了9669.55万元，同比增10.64%。

数据来源：企查查

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