仕佳光子获得发明专利授权：“一种DFB激光器光学膜的制备方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示仕佳光子（688313）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种DFB激光器光学膜的制备方法”，专利申请号为CN202210058678.X，授权日为2024年3月15日。

专利摘要：本发明公开了一种DFB激光器光学膜的制备方法，属于光通信芯片光学薄膜技术领域。该方法步骤如下：将DFB激光器置于化学气相沉积设备内的工艺腔内，通过低温低压、化学气相沉积制备DFB激光器光学膜；首先，在DFB激光器背光面沉积SiO2/Si层叠结构及一层SiO2，得到DFB激光器高反膜；其次，在DFB激光器出光面沉积一层SiO2/Si层叠结构及一层SiO2，得到DFB激光器增透膜，DFB激光器光学膜制备完成。采用本发明公开的方法制备的光学膜剖面膜层致密、表面光滑平整、透射性好、压应力小、厚度均匀性好，且工艺时间短、制备方法简单易行。

今年以来仕佳光子新获得专利授权2个，较去年同期增加了100%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了4928.48万元，同比增26.3%。

数据来源：企查查

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