中微公司获得发明专利授权：“一种聚焦环、等离子体处理器及方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种聚焦环、等离子体处理器及方法”，专利申请号为CN201911089041.1，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：本发明公开了一种聚焦环、等离子体处理器及方法，等离子体处理器包含一反应腔，反应腔内设置一静电吸盘，用于支撑基片，所述聚焦环环绕设置在所述静电吸盘的外围，通过热交换以实现温度可调的聚焦环包括位于基片下方的内侧区域和环绕内侧区域的外侧区域，内侧区域上方设置一热传导部件，当基片被静电吸盘吸附时，基片的背面与热传导部件相接触。本发明通过在聚焦环内或聚焦环与插入环之间或插入环内部或其他相应位置开设冷却通道，供冷却液流动用以对聚焦环进行降温，同时还在基片和聚焦环之间设置热传导部件，通过热传导以增强聚焦环和基片之间的导热效率，提高基片边缘的刻蚀率，进而提高基片的刻蚀率均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期增加了21.43%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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