中微公司获得发明专利授权：“一种薄膜生长系统以及基片托盘和载环组件”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种薄膜生长系统以及基片托盘和载环组件”，专利申请号为CN202011606927.1，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：一种支撑基片的基片托盘，所述基片托盘包括侧壁和侧壁围绕而成的的加热腔，所述侧壁顶部包括盖板，所述顶盖用于向下辐射热量；所述顶盖下方的侧壁内侧包括多个互相分离的支撑腔，以及与每个支撑腔相邻的举升腔，所述举升腔底部向下延伸并穿过基片托盘侧壁底面，使得举升腔与基片托盘下方空间联通，所述支撑腔底部平面高于所述基片托盘底面。与相应的载环组件配合后能够使得基片从基片托盘底部取放，简化取放基片流程。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期增加了21.43%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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