证券之星消息,根据企查查数据显示龙腾光电(688055)新获得一项发明专利授权,专利名为“薄膜晶体管阵列基板及其制作方法”,专利申请号为CN202110206778.8,授权日为2024年3月12日。
专利摘要:本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法,该制作方法包括:提供衬底基板;在所述衬底基板上形成第一绝缘层;在所述第一绝缘层上形成钝化层薄膜,对所述钝化层薄膜进行蚀刻形成具有棱镜结构的第一钝化层;在所述第一绝缘层上形成覆盖所述第一钝化层的平坦化层;在所述平坦化层上形成第二绝缘层;在所述第二绝缘层上形成第一金属薄膜,对所述第一金属薄膜进行蚀刻制作第一金属层,所述第一金属层包括栅极和扫描线;对所述第二绝缘层进行蚀刻,使所述平坦化层部分露出。本发明能够很好地解决严重气泡不良、开口率降低、摩尔纹不佳和显示亮度不均匀等问题。
今年以来龙腾光电新获得专利授权53个,较去年同期增加了23.26%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.1亿元,同比增21.8%。
数据来源:企查查
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