证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“等离子体处理腔室内部部件及其制造方法”,专利申请号为CN201911017548.6,授权日为2024年3月12日。
专利摘要:本发明公开了一种等离子体处理腔室内部部件及其制造方法,该制造方法包括如下步骤:提供含铝基底并在该含铝基底表面沿含铝基底厚度方向依次形成阳极氧化层、热塑性高分子涂层,在涂覆热塑性高分子涂层后对所述部件进行加热处理,使得热塑性高分子涂层填充所述阳极氧化层中的裂纹;完成加热处理后在热塑性高分子涂层上方再涂覆一层第一耐等离子腐蚀涂层,所述第一耐等离子腐蚀涂层包括氧化钇。本发明等离子体处理腔室内部部件的制造过程中所采用的热塑性高分子涂层封孔方法不受零件形状和结构限制,工艺简单,易实施,成本低。采用本发明的等离子体处理腔室内部部件不仅实现了抗等离子体侵蚀,也提高了抗氯气腐蚀性能。
今年以来中微公司新获得专利授权34个,较去年同期增加了21.43%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元,同比减3.77%。
数据来源:企查查
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