证券之星消息,根据企查查数据显示龙腾光电(688055)新获得一项发明专利授权,专利名为“阵列基板及制作方法”,专利申请号为CN202110928524.7,授权日为2024年3月12日。
专利摘要:一种阵列基板及制作方法,制作方法包括:提供基底;在基底上形成栅极、栅极绝缘层、源极、漏极、有源层和像素电极;在基底上设置覆盖源极、漏极、有源层和像素电极的绝缘层;在绝缘层上设置第一金属氧化物层;在第一金属氧化物层上设置第一金属层;在第一金属层设置第一阻挡层;在第一阻挡层上设置第一光阻层;利用第一半色调掩膜板对第一光阻层进行曝光和显影;对第一金属氧化物层、第一金属层、第一阻挡层进行蚀刻,使第一金属氧化物层形成公共电极和导电部,使第一金属层形成数据线,使第一阻挡层形成覆盖数据线上的第一蚀刻阻挡部。本发明提供的阵列基板及制作方法减少了多道光罩制程,降低了成本、提高了生产效率。
今年以来龙腾光电新获得专利授权53个,较去年同期增加了23.26%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.1亿元,同比增21.8%。
数据来源:企查查
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