中微公司获得发明专利授权：“基片承载组件、化学气相沉积设备及吹扫方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“基片承载组件、化学气相沉积设备及吹扫方法”，专利申请号为CN202110345652.9，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：本发明公开了一种基片承载组件、化学气相沉积设备及吹扫方法，所述基片承载组件包括：遮挡盖，与化学气相沉积设备设有的安装开口边缘连接；支撑基座，支撑基座包括轴结构和基片托盘；遮挡盖上设有与轴结构相匹配的轴孔，使轴结构穿过轴孔；轴结构的顶端与基片托盘连接，轴结构的底端贯穿轴孔设置在一升降机底座上遮挡盖的轴孔孔壁与轴结构外侧壁之间的缝隙构成气体通路。本发明能够提高对基片托盘的底部吹扫均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期增加了21.43%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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