证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种耐腐蚀气体输送部件及其等离子体处理装置”,专利申请号为CN201911018284.6,授权日为2024年3月12日。
专利摘要:本发明公开了一种耐腐蚀气体输送部件及其等离子体处理装置,通过将进气输送部件、气体扩散部件和衬套主体内的进气容纳孔和扩散容纳空间相结合,采用多部件结构设计,避免了衬套主体因高温造成其表面缺陷使工艺气体直接与衬套主体接触,其优点是有效地防止了工艺气体中的腐蚀性气体对气体输送系统及等离子体处理装置的腐蚀,解决了由于腐蚀性气体造成的反应腔腔室内的金属污染和固体颗粒污染的问题,且多部件结构的设计,便于工作人员日常的维护工作。
今年以来中微公司新获得专利授权34个,较去年同期增加了21.43%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元,同比减3.77%。
数据来源:企查查
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