中微公司获得发明专利授权：“光强度监测调节机构、调节方法及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“光强度监测调节机构、调节方法及等离子体处理装置”，专利申请号为CN201911405392.9，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：本发明公开了一种用于等离子体处理装置的光强度监测调节机构，包括：反光镜座，其内固定设置有一反光镜，用于反射等离子体刻蚀过程中产生的光；一端卡固于反光镜座内的凸透镜座，其内固定设置有一凸透镜，用于将反光镜反射入的反射光汇聚至一光纤；调节螺杆，其一端容设于凸透镜座内，另一端固设有所述光纤；所述调节螺杆相对于凸透镜座在调节螺杆的延伸方向上移动，而改变光纤与凸透镜之间的距离，以调整汇聚至光纤上的反射光的强度。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期增加了21.43%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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