中微公司获得实用新型专利授权：“限流环驱动结构和气相沉积设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“限流环驱动结构和气相沉积设备”，专利申请号为CN202321899136.1，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：本实用新型提供一种限流环驱动结构和气相沉积设备。所述限流环驱动结构包括：N个气缸，每一气缸包括第一端口和第二端口，其中N≥2；传动组件，连接所述气缸和所述限流环；N对气路，每对气路包括第一气路和第二气路，其中，一对气路中的第一气路和第二气路分别连接一个所述气缸的第一端口和第二端口，所述第一气路和所述第二气路择一的向所述气缸通入气体；2N个第一流量调节件，分别设置于每一所述第一气路和每一所述第二气路上，用于调节所述第一气路和所述第二气路中的气体流量，使N个所述气缸驱动所述限流环同步运动。本实用新型通过使用至少2个同步运动的气缸驱动限流环移动，节约了空间以及成本。

今年以来中微公司新获得专利授权18个，较去年同期减少了35.71%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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