高华科技获得发明专利授权：“一种MEMS流量传感器及其制备方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示高华科技（688539）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS流量传感器及其制备方法”，专利申请号为CN202211031294.5，授权日为2024年3月8日。

专利摘要：本发明提供一种MEMS流量传感器及其制备方法，MEMS流量传感器包括衬底、绝缘层、线圈、转子和固定轴；所述衬底具有相对的第一表面和第二表面，所述衬底的第一表面覆盖所述绝缘层；所述线圈设置于所述绝缘层远离所述衬底的一侧；所述固定轴固定于所述绝缘层的上侧，所述转子设置于所述固定轴，且所述转子与所述固定轴转动连接；所述转子位于线圈的内侧，且所述转子具有磁性；所述转子在流体的作用下转动时，所述线圈在所述转子的磁场中做切割磁感线运动并产生瞬时电动势，根据所述瞬时电动势获取流体的流量。本发明的一个技术效果在于，设计合理，测量精度较高，且成本较低。

今年以来高华科技新获得专利授权9个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1865.77万元，同比增9.76%。

数据来源：企查查

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