至纯科技获得发明专利授权：“一种SPM溶液混酸输出控制方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种SPM溶液混酸输出控制方法”，专利申请号为CN202211617093.3，授权日为2024年3月8日。

专利摘要：本发明公开了一种SPM溶液混酸输出控制方法，在SPM溶液在进入酸洗槽之前，硫酸和双氧水在输送管路上按照既定体积比依次进行第一级混合和第二级混合，第一级混合后输出的混合液再进行第二级混合，第一级混合时加热，实时监测第一级混合后流出的混合液的氧浓度值，如果氧浓度值低于反应充分氧浓度值，则在第二级混合时补充添加既定体积比的硫酸和双氧水使实时监测到的第二级混合后流出的混合液的氧浓度值达到反应充分氧浓度值。本发明通过分段混合的方式实现了硫酸和双氧水的充分混合，达到了温度的精确控制、保证了混合液的充分反应，从而确保了进入酸洗槽内的混合液符合清洗要求，提高了晶圆清洗的品质和效率。

今年以来至纯科技新获得专利授权4个，较去年同期减少了50%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了9939.58万元，同比增67.83%。

数据来源：企查查

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