证券之星消息,根据企查查数据显示江丰电子(300666)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种溅射靶材组件”,专利申请号为CN202322220033.4,授权日为2024年3月8日。
专利摘要:本实用新型提供了一种溅射靶材组件,所述溅射靶材组件包括靶材和背板;所述靶材的溅射面以中心点为基准,由内至外依次设置有凹区和凸台。本实用新型提供的溅射靶材组件将靶材溅射面进行了优化设计,根据溅射时的磁场强度设计溅射面形状,能够使靶材溅射寿命增加80%以上,使得溅射后期靶材表面平整,使溅射参数保持稳定;并且,对背板进行了减薄,实现溅射区域最大化。
今年以来江丰电子新获得专利授权18个,较去年同期减少了47.06%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了7788.86万元,同比增27.92%。
数据来源:企查查
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