高华科技获得发明专利授权：“MEMS陀螺仪及其制备方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示高华科技（688539）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS陀螺仪及其制备方法”，专利申请号为CN202211031291.1，授权日为2024年3月8日。

专利摘要：本发明提供一种MEMS陀螺仪及其制备方法，MEMS陀螺仪包括基座、第一电极层、第二电极层、支撑梁和质量块；所述第一电极层和所述第二电极层分别设置于所述基座的第一表面；所述支撑梁设置于所述基座的第一表面；所述质量块设置于所述支撑梁远离所述基座的一端，所述质量块在所述基座上的投影覆盖所述第一电极层以及覆盖部分所述第二电极层；所述质量块上设置有梳齿单元，所述梳齿单元与所述第一电极层相对应；在驱动模态下，所述第一电极层和所述梳齿单元构成平行梳齿电容器结构；在检测模态下，所述第二电极层和所述质量块构成平行平板电容器结构。本发明的一个技术效果在于，结构简单，加工工艺带来的耦合误差小，零偏稳定性提高。

今年以来高华科技新获得专利授权9个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1865.77万元，同比增9.76%。

数据来源：企查查

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