中微公司获得发明专利授权：“一种气体喷淋头及等离子处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气体喷淋头及等离子处理装置”，专利申请号为CN201910733273.X，授权日为2024年3月8日。

专利摘要：本发明实施例公开了一种气体喷淋头及等离子处理装置，该气体喷淋头包括：硅基底以及覆盖所述硅基底第一表面的涂层，其中，所述硅基底具有多个贯穿所述硅基底的气体通孔，所述涂层包括氧化钇涂层、氟化钇涂层和氧氟钇涂层中的至少一种，所述涂层不仅覆盖所述硅基底的第一表面，还延伸至覆盖所述气体通孔的至少部分内壁且所述涂层的形成工艺为等离子增强物理气相沉积工艺。本发明实施例所提供的气体喷淋头的耐腐蚀性较强，使用寿命较长，从而降低了所述气体喷淋头和所述等离子处理装置的成本。

今年以来中微公司新获得专利授权11个，较去年同期减少了60.71%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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