高华科技获得发明专利授权：“一种MEMS风速传感器及其制备方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示高华科技（688539）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS风速传感器及其制备方法”，专利申请号为CN202211242062.4，授权日为2024年3月8日。

专利摘要：本发明提供一种MEMS风速传感器及其制备方法，MEMS风速传感器包括衬底、质量块、连接梁、缓冲弹簧、第一线圈层、第一绝缘层和转子；所述衬底为中空的环形结构；所述质量块设置于所述环形结构的内侧；所述质量块上固定有连接梁，所述连接梁与所述衬底之间连接所述缓冲弹簧；所述第一绝缘层设置于所述衬底的上表面，所述第一线圈层设置于所述第一绝缘层，且所述第一线圈套设于所述质量块的外侧；所述转子固定于所述质量块，所述转子的材料为磁性材料。本发明的一个技术效果在于，结构设计合理，使用非常方便，不仅受环境温度的影响小，而且能够有效提高MEMS风速传感器的量程。

今年以来高华科技新获得专利授权9个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1865.77万元，同比增9.76%。

数据来源：企查查

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