高华科技获得发明专利授权：“MEMS电容式加速度计及其制备方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示高华科技（688539）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS电容式加速度计及其制备方法”，专利申请号为CN202211031283.7，授权日为2024年3月8日。

专利摘要：本发明提供一种MEMS电容式加速度计及其制备方法，包括基底、质量块、悬臂梁、第一电极层和第二电极层；所述质量块设置于所述基底的上方，且所述质量块与所述基底之间形成预设距离；所述悬臂梁倾斜设置；所述悬臂梁的第一端与所述基底固定连接，所述悬臂梁的第二端与所述质量块固定连接，且所述悬臂梁与所述基底之间形成预设夹角；所述基底朝向所述质量块的一侧设置有第一电极层，所述质量块朝向所述基底的一侧设置有与第一电极层相对应的第二电极层。本发明的一个技术效果在于，结构设计合理，有助于实现MEMS电容式加速度计的微型化设计，还有助于保证MEMS电容式加速度计安全、稳定的工作。

今年以来高华科技新获得专利授权9个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1865.77万元，同比增9.76%。

数据来源：企查查

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