证券之星消息,根据企查查数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种化学机械抛光头和抛光设备”,专利申请号为CN202111325470.1,授权日为2024年3月5日。
专利摘要:本发明公开了一种化学机械抛光头和抛光设备,所述化学机械抛光头包括主体部及保持环,所述主体部的底部配置有基座,所述保持环通过连接结构固定于所述基座;所述连接结构包括固定螺钉及调节圈,保持环通过固定螺钉连接于承载头的基座,所述调节圈设置于所述保持环与所述基座之间并位于所述固定螺钉的内侧或外侧;所述调节圈对保持环的作用力产生相对于所述固定螺钉的偏转力矩,使得保持环的底面形成沿半径方向的高度差。
今年以来华海清科新获得专利授权11个,与去年同期持平。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.39亿元,同比增63.98%。
数据来源:企查查
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