晶盛机电获得发明专利授权：“一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置”，专利申请号为CN201910597113.7，授权日为2024年3月5日。

专利摘要：本发明是关于单晶硅生长炉领域，特别涉及一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置。包括掺杂筒；掺杂机构包括外筒，外筒内壁为N边形，其中N?1条边每条边上设有一轴座，每个轴座上设有心轴；掺杂筒底部筒壁上设有一偏心孔，心轴装设于偏心孔内；外筒内顶部设有封盖，转轴手柄通过轴承与密封圈与封盖相连，封盖上设有若干止动孔，止动孔的位置与掺杂筒相对应；转轴手柄下端穿过封盖与挡板固连，上端与定位止动销相连，止动销底端插入其中一个定位孔内，挡板上设有缺口。本发明采用多次掺杂技术，保证掺杂元素均匀分布在晶棒里，提高晶棒的品质，提高收益；可以解决原有的一次只能掺杂一份掺杂剂的不足。

今年以来晶盛机电新获得专利授权39个，较去年同期增加了85.71%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6亿元，同比增118.68%。

数据来源：企查查

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